Sensorların əsas təsnifatı:
Məqsədinə görə
Təzyiq və gücə həssas sensorlar, mövqe sensorları, səviyyə sensorları, enerji sensorları, sürət sensorları, akselerometrlər, radiasiya sensorları, istilik sensorları.
Prinsipcə
Vibrasiya sensoru, rütubət sensoru, maqnit sensoru, qaz sensoru, vakuum sensoru, biosensor və s.
Çıxış siqnalını basın
Analoq sensor: ölçülən qeyri-elektrik kəmiyyəti analoq elektrik siqnalına çevirir.
Rəqəmsal Sensor: Ölçülmüş qeyri-elektrik kəmiyyətləri rəqəmsal çıxış siqnallarına (həm birbaşa, həm də dolayı) çevirir.
Rəqəmsal sensor: Ölçülmüş semaforu tezlik siqnalının və ya qısa dövrəli siqnalın çıxışına çevirir (birbaşa və ya dolayı çevrilmə daxil olmaqla).
Switch Sensor: Ölçülmüş siqnal müəyyən həddə çatdıqda, sensor müvafiq olaraq müəyyən edilmiş aşağı və ya yüksək siqnal verir.
İstehsal prosesi ilə
İnteqrasiya edilmiş sensorlar silikon əsaslı yarımkeçirici inteqral sxemlərin istehsalı üçün standart proses texnologiyasından istifadə etməklə hazırlanır.
Test edilən siqnalı ilkin olaraq emal etmək üçün istifadə olunan dövrənin bir hissəsi də adətən eyni çipə inteqrasiya olunur.
İncə film sensoru dielektrik substratda (substrat) yerləşdirilən müvafiq həssas materialın bir filmi ilə formalaşır. Bir qarışdırma prosesi istifadə edildikdə, dövrənin bir hissəsi də bu substratda hazırlana bilər.
Qalın film sensoru, adətən Al2O3-dən hazırlanan keramika substratına müvafiq materialdan bir şlamın örtülməsi ilə hazırlanır və sonra qalın bir film yaratmaq üçün istiliklə müalicə olunur.
Seramik sensorlar standart keramika prosesləri və ya onların bəzi dəyişiklikləri (sol, gel və s.) istifadə edərək istehsal olunur.
Müvafiq hazırlıq əməliyyatı başa çatdıqdan sonra əmələ gələn komponent yüksək temperaturda sinterlənir. Qalın film və keramika sensorlarının iki prosesi arasında bir çox ümumi xüsusiyyətlər var. Bəzi cəhətdən qalın film prosesi keramika prosesinin bir variantı hesab edilə bilər.
Hər bir proses texnologiyasının öz üstünlükləri və mənfi cəhətləri var. Keramika və qalın film sensorlar səbəbiylə daha məqbuldur
